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机构
高能物理研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2005 [1]
1998 [1]
学科主题
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利用x射线小角散射技术研究微晶硅薄膜的微结构
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2005, 期号: 5, 页码: 2172-2175
作者:
周炳卿
;
刘丰珍
;
朱美芳
;
谷锦华
;
周玉琴
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提交时间:2015/12/25
微晶硅薄膜
微结构
微空洞
x射线小角散射
高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 1998, 期号: 9, 页码: 89-94
作者:
郭晓旭
;
朱美芳
;
刘金龙
;
韩一琴
;
许怀哲
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提交时间:2015/12/25
微晶硅薄膜
薄膜微结构
晶化过程
稀释度
晶态
微空洞
衬底温度
红外谱
散射强度
小角