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机构
上海微系统与信息技术... [2]
上海应用物理研究所 [2]
长春光学精密机械与物... [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [2]
发表日期
2017 [2]
2015 [1]
2007 [2]
学科主题
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共5条,第1-5条
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硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析
期刊论文
OAI收割
核技术, 2017, 期号: 9, 页码: "15-22"
作者:
潘要霖
;
毛成文
;
舒德明
;
李爱国
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2018/08/17
X射线微纳探针
压弯非球面镜
柔性铰链
有限元分析
亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所), 2017
作者:
潘要霖
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2017/12/08
X射线微纳探针
压弯非球面镜
有限元分析
纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 2043-2050
作者:
程柏
;
韩冰
;
谷立山
;
陈晓苹
;
杨立军
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2016/07/06
纳结构
微纳探针
连续激光
刻划
近场效应
用于倒装芯片的金球凸点制作技术
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2007, 期号: 11
吴燕红
;
杨恒
;
唐世弋
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS集成探针阵列
微纳摩擦
尺寸效应
温度效应
硅集成探针技术及微纳摩擦效应研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
刘斌
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提交时间:2012/03/06
MEMS集成探针阵列
微纳摩擦
尺寸效应
温度效应
液体微点样探针