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力学研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
上海应用物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2009 [2]
2006 [1]
1996 [1]
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共5条,第1-5条
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电磁式微尺度扭转实验技术研究及其典型应用
会议论文
OAI收割
中国力学大会-2015, 中国上海, 2015-08-16
作者:
郇勇
;
代玉静
;
董杰
;
刘薇
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/08/16
微尺度
金属玻璃
扭矩测量
扭转试验机
通电线圈
扭转实验
非线性度
安培力
扭转角
线性关系
平面电磁型微电机定转子制作工艺
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2009, 期号: 9
作者:
吴一辉
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/09/25
微电机
大深宽比
平面线圈
深刻蚀
微电铸
高频腔中二次电子倍增效应的研究
学位论文
OAI收割
博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2009
张猛
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浏览/下载:321/0
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提交时间:2012/04/11
直线加速器
次谐波聚束器
二次电子倍增
超导腔
微脉冲枪
反向线圈
模拟计算
基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
王彬
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/03/06
磁珠
MEMS
微流体
模拟分析
平面线圈
塑性材料微加工
电磁微电机中平面微线圈磁场分布特性的研究
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 1996, 期号: 03, 页码: 152-157
车录锋
;
吕琼莹
;
王立鼎
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提交时间:2013/03/11
电磁微电机
微线圈
数值算法
分布特性