机构

• 高能物理研究所 [2]
• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]
• 2002 [1]
• 2000 [1]

学科主题

• 粒子物理与原子核物理 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于LIGA技术的微细电火花加工 期刊论文  OAI收割 机械工人.冷加工, 2004, 期号: 1, 页码: 26-28 作者:  彭良强 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/12/25 微细电火花加工  LIGA技术  微细加工技术  工具电极  微型机电系统  研究机构  喷墨打印机  成形电极  特种加工  磨削工艺   硅光栅技术 期刊论文  OAI收割 光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15 作者:  刘剑 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/03/11 硅光栅:8344  衍射光栅:2782  各向异性刻蚀:2681  制作工艺:2002  光刻胶:1650  闪耀光栅:1645  微机械:1511  微细加工技术:1326  多晶硅:1050  反射光栅:922   博士论文-LIGA技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2000 作者:  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2015/10/12 LIGA技术  MEMS技术  微细加工技术  同步辐射光刻  微结构技术