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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2005 [1]
1996 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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镀铂栅极抑制电子发射性能研究
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 2005, 期号: 11
蒋军
;
江炳尧
;
任琮欣
;
张福民
;
冯涛
;
王曦
;
柳襄怀
;
邹世昌
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提交时间:2012/01/06
微机械
悬桥
LPCVD
氮化硅
杨氏模量
残余应力
弯曲强度
悬桥式微流量传感器的研制
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 1996
熊斌
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提交时间:2012/03/06
悬桥式微流量传感器
热力学模型
温度分布解析式