机构

• 力学研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 1984 [1]
• 1982 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅表层扩散杂质在CW-CO_2激光辐照后的电激活特性 期刊论文  OAI收割 北京大学学报(自然科学版), 1984, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 8-12 作者:  李元恒 收藏  |  浏览/下载：1013/160  |  提交时间：2009/08/03 薄层电阻  电激活  扩散杂质  扩硼  激光辐照  辐照后  固溶度极限  CO_2激光  面密度   扩硼Si在连续CO_2激光辐照后的特性 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 340-342 作者:  李元恒 收藏  |  浏览/下载：891/73  |  提交时间：2009/08/03 连续CO_2激光  激光辐照  薄层电阻  扩硼  激光功率密度  辐照后  激光扫描速度  电激活  面密度