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	扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计期刊论文 OAI收割中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格 \| 收藏 \| 浏览/下载：40/0 \| 提交时间：2018/04/09 光栅扫描干涉场曝光系统高斯光束光斑尺寸光路设计
	扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制期刊论文 OAI收割光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊 \| 收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2018/04/09 光学设计光栅扫描干涉场曝光光束对准曝光对比度位置解耦角度解耦
	扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析期刊论文 OAI收割中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183 作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠 \| 收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2017/09/17 光栅扫描干涉场曝光系统光束对准收敛性能装调误差
	扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法期刊论文 OAI收割光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64 作者: 姜珊; 巴音贺希格; 潘明忠; 李文昊; 宋莹收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2016/07/06 光栅扫描干涉场曝光系统干涉条纹周期测量相位锁定
	全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院大学, 2014 宋莹收藏 \| 浏览/下载：155/0 \| 提交时间：2015/05/03 全息光栅曝光扫描干涉场曝光干涉条纹移频式静态相位锁定动态相位锁定 AOM
	扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响期刊论文 OAI收割光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠收藏 \| 浏览/下载：36/0 \| 提交时间：2015/04/17 光栅扫描干涉场曝光系统相位锁定光栅周期刻线误差