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• 长春光学精密机械与物... [4]

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• 期刊论文 [4]

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• 2017 [1]
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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格   |  收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2018/04/09 光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计   扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183 作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/09/17 光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差   扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64 作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/07/06 光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定   扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2015/04/17 光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差