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• 微电子研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2009 [1]
• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 应用于纳米制造的新型电子束抗蚀剂Calixarene的工艺研究 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2009, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 4，275-278 作者:  谢常青;  安南;  刘明;  陈宝钦;  任黎明   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/06/01 纳米制造  电子束光刻  工艺技术  电子束抗蚀剂  Calixarene   HSQ用于电子束曝光的性能分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4，10-13 作者:  赵珉;  陈宝钦;  刘明;  谢常青;  朱效立   |  收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2010/05/27 Hsq（hydrogen Silsesquioxane）  电子束曝光技术  抗蚀剂工艺  邻近效应