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软X射线接触式显微术研究 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 27-33
作者:  
李哲
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2013/03/11
用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46
王占山; 刘毅楠; 曹健林
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2013/03/11
软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 74-78
作者:  
李哲
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2013/03/11