机构

• 微电子研究所 [2]
• 长春光学精密机械与物... [1]
• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2020 [1]
• 2002 [1]
• 2000 [1]
• 1999 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 大口径石英基底衍射透镜的高精度制备方法 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2020, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 178-187 作者:  巩畅畅;  范斌;  邵俊铭;  刘鑫   |  收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2021/05/11 接触式曝光  掩模版  形变量  大口径衍射透镜  高平面度   电子束和接触式曝光机的混合曝光技术 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2002, 期号: 1, 页码: 5,13_17 作者:  陈宝钦;  刘明   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/05/25 接触式曝光机   电子束和接触式曝光机的匹配和混合曝光 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 4，416-419 作者:  刘明;  陈宝钦   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/25 I－线光致抗蚀剂  电子束 接触式曝光机  混合曝光   软X射线接触式显微术研究 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 27-33 作者:  李哲 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线接触式显微术  生物样品  抗蚀膜  显影条件  曝光量