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新型光刻技术研究进展 期刊论文 OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 043
作者: 何立文; 罗乐; 孟钢; 邵景珍; 方晓东

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三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究 学位论文 OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者: 邓钦元

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基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文 OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 杨朝兴

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自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文 OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 江海波

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基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文 OAI收割
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者: 佟军民; 胡松

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极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文 OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 管文超

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倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文 OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 何骏

收藏 | 浏览/下载：66/0 | 提交时间：2016/11/28

极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文 OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 刘晓雷

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采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 期刊论文 OAI收割
红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者: 康玉思; 魏忠伦; 刘伟奇; 张大亮; 冯睿

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DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计 期刊论文 OAI收割
微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 10, 页码: 673-678
作者: 冯金花; 胡松; 李艳丽; 何渝

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