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采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]
• 2004 [1]
• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007 佟军民 收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2013/11/19 掩模移动曝光技术  精密定位工件台  移动直线性  移动正交性   100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展 期刊论文  OAI收割 光机电信息, 2004, 期号: 05, 页码: 20-24 作者:  李志来;  董吉洪 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻机  工件台  掩模台   飞行光学聚焦特性自适应控制及光刻机工件台掩模台技术方案 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2003 作者:  高海军 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28 飞行光学  聚焦特性  变形镜  工件台  掩模台