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• 上海光学精密机械研究... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种新的光刻机像质参数热漂移检测技术 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 1668, 1672 张冬青; 王向朝; 施伟杰; 马明英; 王帆 收藏  |  浏览/下载：1354/253  |  提交时间：2009/09/18 测量  measurement  最佳焦面热漂移  thermal drift of best focus  放大倍率热漂移  thermal drift of magnification  投影物镜  projection lens  光刻机  lithographic tool  原位检测  in-situ measurement