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	基于Petri网的组合设备建模与调度综述期刊论文 OAI收割自动化学报, 2023, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 929-948 作者: 袁凤连; 黄波; 王际鹏; 潘春荣 \| 收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2024/05/09 晶圆制造 Petri网组合设备建模调度
	探讨用最巨大仪器研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪器及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上) 期刊论文 OAI收割仪器仪表标准化与计量, 2018, 期号: 4, 页码: 1-8 作者: 沈经 \| 收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2019/09/24 光刻电子束摇摆器极紫外离子束注入参杂晶圆大规模集成电路原始设计制造商原始设备制造商原始品牌制造商台积电-OEM模式
	有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究期刊论文 OAI收割控制与决策, 2011, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 37-43,48 作者: 李林瑛; 胡静涛收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2012/05/29 半导体制造集束型装备在线调度粒子群优化算法滞留时间约束晶圆问题研究调度问题机械手调度方法