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浏览/检索结果: 共27条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202 作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜   |  收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2021/07/06 薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度   极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者:  宋源;  卢启鹏   |  收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2018/04/09 极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜   碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2017, 页码: 170-175 作者:  王依;  卢启鹏;  高云国   |  收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2018/04/09 薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率   应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文  OAI收割 科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127 作者:  吴义恒;  鹿国庆;  李伶俐;  卢启鹏   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/09/17 极紫外光刻  光刻胶  平衡关系  材料设计   极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/09/17 薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/Si多层膜   基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  方伟 收藏  |  浏览/下载：155/0  |  提交时间：2016/11/28 Ptychography  PIE  相位恢复  波像差  光刻投影物镜  极紫外光刻   极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143 作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/07/06 光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构   极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  管文超 收藏  |  浏览/下载：110/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模衍射场  缺陷  快速仿真计算  米散射   极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  刘晓雷 收藏  |  浏览/下载：107/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模模型  缺陷补偿  图形偏移  吸收层修正   光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142 作者:  金春水;  于杰;  王丽萍 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2015/04/17 光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制