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• 长春光学精密机械与物... [1]
• 近代物理研究所 [1]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2013 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225 作者:  谢耀 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2014/03/07 极紫外光刻光源  毛细管放电  磁流体力学  Xe等离子体   用于光刻的EUV光源 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2007, 卷号: 2007, 期号: 01, 页码: 12-16 赵环昱; 赵红卫   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2010/10/29 光刻  极紫外光源  放电等离子  激光等离子体  Ecr等离子体