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机构
上海微系统与信息技术... [4]
电子学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
学位论文 [3]
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2010 [1]
2008 [2]
2005 [1]
学科主题
传感器 [1]
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浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
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基于MEMS及芯片集成技术的三维电场传感器研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
方奕庚
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基于C-MEMS的植入式柔性神经微电极
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
周亮
收藏
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星载计算机软硬件协同验证技术的研究
期刊论文
OAI收割
计算机测量与控制, 2008, 期号: 12
周戌申
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张小林
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姜大力
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李华旺
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基于聚酰亚胺衬底的柔性MEMS技术及在传感器中的应用研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
肖素艳
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基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究
会议论文
OAI收割
中国机械工程, 2005
肖素艳
;
车录锋
;
李昕欣
;
王跃林
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