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	基于MEMS及芯片集成技术的三维电场传感器研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 方奕庚收藏 \| 浏览/下载：193/0 \| 提交时间：2016/06/02 MEMS 三维电场传感器电场探测芯片集成柔性折叠对称电极
	基于C-MEMS的植入式柔性神经微电极学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010 周亮收藏 \| 浏览/下载：59/0 \| 提交时间：2012/03/06 C-MEMS 碳膜柔性神经微电极互连
	星载计算机软硬件协同验证技术的研究期刊论文 OAI收割计算机测量与控制, 2008, 期号: 12 周戌申; 张小林; 姜大力; 李华旺收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2012/01/06 柔性MEMS 触觉传感器聚酰亚胺(PI) 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
	基于聚酰亚胺衬底的柔性MEMS技术及在传感器中的应用研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008 肖素艳收藏 \| 浏览/下载：124/0 \| 提交时间：2012/03/06 柔性MEMS技术聚酰亚胺（PI）聚二甲基硅氧烷（PDMS）铂薄膜电阻温度传感器触觉力传感器
	基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究会议论文 OAI收割中国机械工程, 2005 肖素艳; 车录锋; 李昕欣; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：78/0 \| 提交时间：2012/01/18 温度传感器柔性衬底 MEMS技术聚酰亚胺铂薄膜电阻