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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• OAI收割 [2]

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• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]
• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于聚酰亚胺衬底的柔性MEMS技术及在传感器中的应用研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 肖素艳 收藏  |  浏览/下载：124/0  |  提交时间：2012/03/06 柔性MEMS技术  聚酰亚胺（PI）  聚二甲基硅氧烷（PDMS）  铂薄膜电阻温度传感器  触觉力传感器   基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究 会议论文  OAI收割 中国机械工程, 2005 肖素艳; 车录锋; 李昕欣; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2012/01/18 温度传感器 柔性衬底 MEMS技术 聚酰亚胺 铂薄膜电阻