机构

• 光电技术研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [2]

发表日期

• 2011 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于锁定放大原理的投影光刻检焦技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 谢飞 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2014/12/11 光学投影光刻  焦深  检焦技术  离焦量  锁定放大法   纳米投影光刻中的光栅检焦技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 陈旺富 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2014/12/11 投影光刻  检焦技术  偏振调制  光弹调制