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机构
上海光学精密机械研究... [2]
光电技术研究所 [1]
微电子研究所 [1]
高能物理研究所 [1]
上海技术物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [4]
学位论文 [2]
发表日期
2013 [1]
2009 [1]
2008 [2]
2005 [1]
1994 [1]
学科主题
红外探测材料与器件 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共6条,第1-6条
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条数/页:
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空间分束法消除椭偏测量背反误差
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 4
作者:
周明
;
陈刚
;
刘定权
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收藏
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2014/11/05
薄膜
背反
椭偏法
光学常数
2.7~2.9um波段红外薄膜的研制
学位论文
OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
王刚
收藏
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浏览/下载:92/0
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提交时间:2013/11/19
红外薄膜
水吸收
离子辅助
透射率包络法
椭偏法
椭偏技术在波片测量中的应用研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:
缪洁
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2016/11/28
椭偏测量
相位延迟
四区域法
波片
元件缺陷
双菱体λ/4消色差相位延迟器的设计
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2008, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 136, 139
薄锋
;
朱健强
;
康俊
;
陈刚
收藏
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浏览/下载:1530/392
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提交时间:2009/09/18
激光技术
椭偏法
菲涅尔反射
λ/4消色差相位延迟器
双菱体
Birhomb
Fresnel reflection
Lambda/4 achromatic phase retarder
Laser technique
Total reflection phase transformation
高密度等离子刻蚀机中的等离子体诊断技术
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2005, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 5,13-17
作者:
刘明
;
王巍
;
叶甜春
;
李兵
;
陈大鹏
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收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2010/05/26
等离子体诊断技术
朗格谬尔探针
发射光谱法:激光诱导荧光法
光谱椭偏法
质谱法
纳米厚度非透明介质薄膜的测量
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 1994, 期号: 1, 页码: 21--25
作者:
缪建伟
;
崔明启
;
唐鄂生
;
修立松
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2015/12/25
椭偏仪
台阶仪
多次入射选择最佳法