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空间分束法消除椭偏测量背反误差 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 4
作者:  
周明;  陈刚;  刘定权
  |  收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2014/11/05
2.7~2.9um波段红外薄膜的研制 学位论文  OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
王刚
收藏  |  浏览/下载:92/0  |  提交时间:2013/11/19
椭偏技术在波片测量中的应用研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:  
缪洁
收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2016/11/28
双菱体λ/4消色差相位延迟器的设计 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2008, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 136, 139
薄锋; 朱健强; 康俊; 陈刚
收藏  |  浏览/下载:1530/392  |  提交时间:2009/09/18
高密度等离子刻蚀机中的等离子体诊断技术 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2005, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 5,13-17
作者:  
刘明;  王巍;  叶甜春;  李兵;  陈大鹏
  |  收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2010/05/26
纳米厚度非透明介质薄膜的测量 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 1994, 期号: 1, 页码: 21--25
作者:  
缪建伟;  崔明启;  唐鄂生;  修立松
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2015/12/25