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上海技术物理研究所 [2]
上海应用物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2018 [1]
2005 [1]
2004 [1]
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共3条,第1-3条
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超高真空系统中冷漏的判断及消除方法
期刊论文
OAI收割
真空, 2018, 卷号: 55, 期号: 04, 页码: 30-33
作者:
刘俊男
;
陈明
;
薛松
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提交时间:2019/12/30
冷漏
超高真空
四极质谱
氦质谱检漏
氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2005, 卷号: 25, 期号: z1, 页码: 20-26
-
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提交时间:2016/05/16
密封器件
检漏
氦质谱检漏仪
背压法
漏率计算
程序
漏率检测方法与内部水汽含量的分析研究
会议论文
OAI收割
2004第四届电子产品防护技术研讨会
-
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提交时间:2016/05/16
内部水汽
氦质谱检漏
加压法
充入法
检漏仪本底
氦气吸附