机构

• 高能物理研究所 [1]
• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2005 [1]
• 1989 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 氮化硅钝化膜的制备和应用 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2005, 卷号: 022 作者:  陈俊芳;  吴先球;  樊双利;  王鑫;  任兆杏   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2020/11/25 光电子学  ECR—PECVD  氮化硅钝化膜  芯片   用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布 期刊论文  OAI收割 高能物理与核物理, 1989, 期号: 6, 页码: 481-486 作者:  刘世杰;  吴越;  盛康龙;  李春瑛 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/12/25 深度分辨率  氮化硅膜  淀积  探测深度  工艺条件  实验条件  探测灵敏度  射频功率  核反应分析  氢原子