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上海光学精密机械研究... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2010 [1]
2008 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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电子束蒸发自动控制系统的实验研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
王宁
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
光学薄膜、电子束蒸发自动控制、自动扫描、沉积速率控制
电子束蒸发镀膜速率控制研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:
王善成
收藏
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2016/11/28
光学薄膜
电子束蒸发
沉积速率控制
PID