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哈特曼原理子口径斜率扫描检测及误差研究
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 08, 页码: 141-148
作者:
赵宪宇
;
薛栋林
;
程强
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2020/08/24
波面检测
哈特曼原理
大口径光学系统
斜率扫描
拼接检测系统平面波前稀疏子孔径排列模型的优化
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 32-38
作者:
罗倩
;
吴时彬
;
汪利华
;
杨伟
;
范斌
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2019/08/23
稀疏子孔径
教学建模
拼接检测
波面重构
干涉测量
稀疏子孔径区域内正交多项式重构波前
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2018, 卷号: 47, 期号: 6, 页码: 207-214
作者:
罗倩
;
吴时彬
;
汪利华
;
杨伟
;
范斌
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2019/08/23
稀疏子孔径
正交多项式
Mathematica符号计算
拼接检测
波面重构
离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2017, 卷号: 46, 期号: 3, 页码: 129-135
作者:
武中华
;
袁吕军
;
朱永田
;
何丽
;
康燕
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2018/01/05
测量
离轴非球面
付科法
光学检测
波面再现
激光波面径向剪切干涉技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:
王宇飞
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浏览/下载:56/0
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提交时间:2015/05/29
波前(波面)检测
径向剪切干涉
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院大学, 2014
代晓珂
收藏
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2015/05/03
光学检测
极紫外光刻
波面参考源
偏振控制
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:
金春水
;
于杰
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2015/04/17
光学检测
点衍射干涉仪
波面参考源
误差研究
公差分析
可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003
作者:
刘蕾
;
曾爱军
;
朱玲琳
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/11/25
相干光学
波面检测
横向剪切
干涉仪
等光程差
可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003
作者:
刘蕾
;
曾爱军
;
朱玲琳
;
黄惠杰
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/11/28
相干光学
波面检测
横向剪切
干涉仪
等光程差
可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003
作者:
刘蕾
;
曾爱军
;
朱玲琳
;
黄惠杰
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/11/28
相干光学
波面检测
横向剪切
干涉仪
等光程差