中国科学院机构知识库网格系统: 检索

机构

采集方式

内容类型

发表日期

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条

帮助

条数/页：排序方式：
	深紫外光刻光学薄膜期刊论文 OAI收割中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181 作者: 张立超; 才玺坤; 时光收藏 \| 浏览/下载：38/0 \| 提交时间：2016/07/06 深紫外光刻超精密光学膜系设计光学性能保障环境适应性
	调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响期刊论文 OAI收割中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298 作者: 李显凌; 张德福收藏 \| 浏览/下载：35/0 \| 提交时间：2015/04/17 光学器件深紫外光刻投影物镜像差补偿偏心调节机构调节力面形
	长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2012, 期号: 11, 页码: 2395-2401 作者: 高劲松; 张立超收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2013/03/11 深紫外光学光学薄膜薄膜沉积薄膜测量透过率面形精度