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• 新疆理化技术研究所 [1]
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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2009 [1]
• 2004 [1]

学科主题

• Engineerin... [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2009, 期号: 02 穆参军; 张飞岭; 张宁; 赵本刚; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 高g加速度传感器  温敏效应  掺杂浓度  动态敏感特性   补偿硅的温度敏感特性 期刊论文  OAI收割 电子元件与材料, 2004, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 23-24,28 作者:  张建;  巴维真;  陈朝阳;  丛秀云;  陶明德 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/11/29 补偿硅  高补偿  过补偿  温敏特性