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光学薄膜 [1]
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HiPIMS 金属/气体离子比的调控及其对TiN涂层性能的影响
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2024
作者:
曾明亮
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2024/06/03
高功率脉冲磁控溅射
TiN
等离子体特性
离子辐照
残余应力
脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
作者:
高海洋
;
张斌
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2023/12/08
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)
脉冲频率
TiN薄膜
微观组织
力学性能
Mn-Co-Ni-(Mg/Al)-O系热敏薄膜的磁控共溅射法制备及其电学性能研究
学位论文
OAI收割
中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
轩婷婷
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2020/11/19
磁控共溅射
热敏薄膜
溅射功率
阳离子分布
电学性质
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
基体偏压对HiPIMS制备非晶碳膜结构和光电性能的影响
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2018, 卷号: 32, 期号: 04, 页码: 283-289
作者:
张栋
;
王丽
;
郭鹏
;
左潇
;
黄美东
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2018/12/04
材料表面与界面
非晶碳膜
光电性能
高功率脉冲磁控溅射
微观结构
高功率脉冲磁控溅射制备类石墨碳膜的光学和电学特性研究
期刊论文
OAI收割
2017, 页码: 1
作者:
王丽
;
柯培玲
;
汪爱英
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2018/12/04
高功率脉冲磁控溅射
类石墨碳膜
微观结构
光学特性
电学特性
高功率脉冲磁控溅射制备技术的研究
期刊论文
OAI收割
2017, 页码: 1
作者:
柯培玲
;
左潇
;
汪爱英
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2018/12/04
高功率脉冲磁控溅射
等离子体
活性粒子
HIPIMS制备Cr-B涂层及摩擦学性能
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2015, 卷号: 28, 期号: 135, 页码: 13-19
张树参
;
柯培玲
;
李晓伟
;
李志勇
;
汪爱英
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/09/18
高功率脉冲磁控溅射
Cr-B涂层
微结构
摩擦性能
高密度激光作用下的固/液、气/液界面演化及其热、力效应
会议论文
OAI收割
第十二届全国物理力学学术会议, 中国广西桂林, 2012-11-12
作者:
葛志福
;
虞钢
;
何秀丽
;
李少霞
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2014/03/19
激光作用
界面演化
激光束聚焦
熔池
力效应
激光能量
冲压力
气液界面
高功率密度
爆炸沸腾
金属蒸气
材料表面
液体过热
激光传输
热流密度
相互作用过程
溅射
时间演化
高密度
液体表面张力
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
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浏览/下载:1034/176
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提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays