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• 上海微系统与信息技术... [6]

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• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [5]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2011 [2]
• 2005 [1]
• 2004 [2]
• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/04/13 加速度计  热机械噪声  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   低热机械噪声的梳齿式加速度计 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 10 杨丹琼; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/04/13 低噪声加速度计  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   超紧凑型SOI基3×3 MMI波导光开关的优化设计 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2005, 期号: 04 贾晓玲; 高凡; 张峰 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 滑膜阻尼  电容检测  栅形结构   时间自动机的自动抽象算法 期刊论文  OAI收割 西南交通大学学报, 2004, 期号: 05 支小莉; 童维勤; 戎璐 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 陀螺  微机械加工  噪声  滑膜阻尼   基于滑膜阻尼效应的音叉式微机械陀螺研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2004 陈永   收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  微机械陀螺  滑膜阻尼  机械解耦  等效电路模型     PCR微池芯片的设计、制作及实现样品扩增 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2003, 期号: 02 周天; 邹志清; 赵建龙; 徐元森 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械陀螺  体微机械加工  栅形电极  滑膜阻尼