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机构
上海光学精密机械研究... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2016 [2]
2013 [1]
2012 [1]
学科主题
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共4条,第1-4条
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基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
周奇军
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提交时间:2016/11/28
微纳结构
激光热刻蚀
相变材料
AgInSbTe
Sb2Te3
基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
周奇军
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提交时间:2016/11/28
微纳结构
激光热刻蚀
相变材料
AgInSbTe
Sb2Te3
激光热刻蚀材料的制备及其直写光刻性质研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
邓常猛
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浏览/下载:57/0
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提交时间:2016/11/28
激光热刻蚀
杯[4]芳烃衍生物
GeSbTe
激光直写光刻
硫系激光热刻蚀薄膜的制备及其性质
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
李豪
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提交时间:2016/11/28
激光热刻蚀
ZnS-SiO2
AIST
显影
热传导层