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机构
长春光学精密机械与物... [2]
光电技术研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2002 [1]
2000 [1]
1997 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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离焦激光直写光刻工艺研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2002, 期号: 09, 页码: 850-854
作者:
赵晶丽
;
卢振武
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2013/03/11
激光直写光刻
离焦写入
四轴激光直写系统
激光直写设备调焦伺服控制系统的研究
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 79-82
熊木地
;
肖文礼
;
邢忠宝
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2013/03/11
二元光学激光直写设备
二级调焦系统
两点探焦法
归一化处理
激光直写系统辅助图形编辑软件的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1997
白临波
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/11/19
激光直写系统
衍射光学元件
MASK软件
CIF文件格式
基于激光直写系统的衍射光栅制备
学位论文
OAI收割
作者:
王津
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2018/12/26
激光直写系统
direct laser writing system
衍射光栅
diffraction gratings
旋转达曼光栅技术
rotating Dammann grating technology