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机构
长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2004 [1]
2002 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构
期刊论文
OAI收割
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 03, 页码: 310-312
作者:
刘伟
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2013/03/11
激光直接写入设备
纳米分辨力
调焦伺服机构
激光直接写入系统曝光量分布分析
会议论文
OAI收割
中国长春
作者:
卢振武
;
赵晶丽
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2013/03/19
物理光学
衍射光学
激光直接写入
曝光量分布分析