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用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构 期刊论文  OAI收割
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 03, 页码: 310-312
作者:  
刘伟
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2013/03/11
激光直接写入系统曝光量分布分析 会议论文  OAI收割
中国长春
作者:  
卢振武;  赵晶丽
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2013/03/19