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机构
金属研究所 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2005 [1]
1992 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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H_2稀释度对HFCVD法沉积SiC薄膜结晶度的影响
期刊论文
OAI收割
长春理工大学学报, 2005, 期号: 01, 页码: 90-92
作者:
王辉
;
缪国庆
;
蒋红
;
宋航
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提交时间:2013/03/11
碳化硅
H2稀释度
热丝CVD
氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积
期刊论文
OAI收割
材料科学进展, 1992, 期号: 1, 页码: 56-59
陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪
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提交时间:2012/04/12
热丝CVD
金刚石薄膜
热膨胀系数