机构

• 微电子研究所 [3]
• 电子学研究所 [1]
• 声学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2012 [1]
• 2008 [3]
• 2006 [1]

学科主题

• 传感器 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器的制作 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/06/09 MEMS  谐振式压力传感器  电磁激励  SOI  牺牲层释放   硅微压电传声器与硅微压电超声换能器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2008 郝震宏 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2011/05/07 硅微压电传声器  硅微压电超声换能器  三维超声成像  牺牲层释放   绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2008, 卷号: 37, 期号: 5, 页码: 5，14-17,34 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/05/27 表面张力  超临界二氧化碳  清洗和干燥  牺牲层释放   绿色二氧化碳超临界清洗设备 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4，50-52,61 作者:  高超群;  李全宝;  刘茂哲;  景玉鹏   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2010/05/27 超临界流体 二氧化碳超临界清洗  表面张力  牺牲层释放   MEMS器件的腐蚀与释放 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 347-350 作者:  陈大鹏;  焦斌斌;  欧毅;  石莎莉;  李超波   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/26 Mems  牺牲层  腐蚀  释放  隔离槽