机构

• 微电子研究所 [3]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]
• 2002 [2]
• 1992 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 HSQ用于电子束曝光的性能分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4，10-13 作者:  赵珉;  陈宝钦;  刘明;  谢常青;  朱效立   |  收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2010/05/27 Hsq（hydrogen Silsesquioxane）  电子束曝光技术  抗蚀剂工艺  邻近效应   电子束曝光技术发展概况 期刊论文  OAI收割 世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 3,27-29 作者:  刘明;  张建宏   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/25 电子束  曝光技术  微电子技术  Sem  高斯扫描系统  成型束  抗蚀剂   电子束曝光技术的应用 期刊论文  OAI收割 世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 2,30_31 作者:  刘明;  张建宏   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/05/25 集成电路  掩膜版  微型器件制造  低微电子结构  电子束  曝光技术 应用   1.3μm分布反馈激光器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 1992 方步清 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/03/06 激光器  电子束曝光技术  光纤通信  光栅制作