机构

• 微电子研究所 [2]
• 上海技术物理研究所 [1]
• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [1]
• 2004 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]
• 红外基础研究 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 电子束直写技术及其应用 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2008 作者:  孙艳   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/07/11 电子束直写  量子点定位  荧光增强  单光子探测  各向异性   低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究 期刊论文  OAI收割 真空, 2007, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 35-38 陈炯枢; 陈学康; 刘相; 刘建喜 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/11/01 电子束直写曝光  选择性化学沉积  图案化  electron beam direct- write exposure  selective chemical deposition  patternization   光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 1-6 作者:  陈宝钦;  刘明;  徐秋霞;  薛丽君;  李金儒   |  收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2010/05/26 微光刻技术  微纳米加工技术  电子束直写  匹配与混合光刻技术   现代光刻技术 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 81-86 作者:  叶甜春;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/05/26 光刻  分辨力  X射线光刻技术  电子束直写  极紫外线投影光刻  离子束投影光刻