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高能物理研究所 [12]
近代物理研究所 [2]
上海微系统与信息技术... [1]
上海光学精密机械研究... [1]
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OAI收割 [16]
内容类型
期刊论文 [12]
学位论文 [3]
项目 [1]
发表日期
2018 [1]
2011 [1]
2008 [1]
2006 [1]
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2004 [1]
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学科主题
光学 [1]
核技术及应用 [1]
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探讨用最巨大仪器研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪器及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上)
期刊论文
OAI收割
仪器仪表标准化与计量, 2018, 期号: 4, 页码: 1-8
作者:
沈经
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提交时间:2019/09/24
光刻
电子束摇摆器
极紫外
离子束注入参杂
晶圆
大规模集成电路
原始设计制造商
原始设备制造商
原始品牌制造商
台积电-OEM模式
TRIUMF ARIEL电子直线加速器设计(英文)
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2011, 期号: 3, 页码: 791-796
作者:
闫芳
;
R.E.Laxdal
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2015/12/14
电子直线加速器
电子注入器
100keV初始入射能量
超导俘获腔
作为BEPCII预注入器的光阴极注入器(英文)
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2008, 期号: 9, 页码: 1521-1527
作者:
裴士伦
;
董东
;
裴国玺
;
王书鸿
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2015/12/14
预注入器
束流动力学
光阴极电子枪
光阴极注入器
高电荷
BTF加速器物理设计
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2006, 期号: S1, 页码: 126-128
作者:
朱雄伟
;
裴国玺
;
池云龙
;
戴建枰
;
陈森玉
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2015/12/07
X射线自由电子激光
光注入器
磁压缩
输运线
TESLA 行波正电子注入器和束流模拟(英文)
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2005, 期号: 5, 页码: 495-500
作者:
王书鸿
;
金凯
;
周锋
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2015/12/14
正电子注入器
L波段行波加速结构
束流模拟
硫系化合物随机存储器关键相变材料与器件单元工艺研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
刘波
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提交时间:2012/03/06
硫系化合物随机存储器
相变材料
器件单元
电学性能
纳电子器件
离子注入
聚焦离子束
高压直流连续波光阴极注入器中电子束流发射度研究
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2003, 卷号: 2003, 期号: 05, 页码: 509-512
李正红,胡克松,肖效光,钱民权,刘振灏
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提交时间:2010/10/29
光阴极注入器
静电加速器
高平均功率fel
电子束发射度
光阴极微波腔的研制和总体实验
项目
OAI收割
2002-2008
作者:
戴建枰
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2015/07/09
光阴极微波电子枪
注入器
自由电子激光
C_(60)薄膜的离子注入损伤研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 1998, 期号: 11
邹云娟
;
严辉
;
陈光华
;
金运范
;
杨茹
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2011/09/23
离子注入:9002
注入剂量:2450
电子能量转移:2109
非晶化:1534
电子阻止本领:1147
拉曼谱:1117
核阻止本领:1108
离子辐射损伤:1031
非晶碳:936
重离子加速器:634
微波电子枪
期刊论文
OAI收割
中国科学基金, 1996, 期号: 3, 页码: 3
作者:
谢家麟
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提交时间:2015/12/07
谐振腔
电子发射
粒子动力学
直线加速器注入器
自由电子激光