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机构
上海微系统与信息技术... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2006 [1]
2005 [2]
学科主题
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共3条,第1-3条
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SOI基光波导器件的模拟与实现
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
曹共柏
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提交时间:2012/03/06
SOI脊形波导
有限元方法
束传播方法
电感耦合反应离子刻蚀
定向耦合器
SOI基集成光波导器件及表面粗糙度改善的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
高凡
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2012/03/06
集成光学
SOI脊形波导
电感耦合反应离子刻蚀
侧壁粗糙度
散射损耗
SOI光波导器件及其增透膜的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
王永进
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/03/06
SOI脊形波导
增透膜
电感耦合反应离子刻蚀
散射损耗
原子力显微镜