机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2012 [1]
• 2010 [1]
• 2009 [1]
• 2007 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 869-875 俞锋; 李昕欣; 于海涛 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2013/02/22 悬臂梁传感器  平面内谐振模态  品质因数  电热驱动  液体中谐振   基于微机械悬臂梁结构的MEMS探测器与传感器 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 杨永亮 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  微波悬臂梁探针  电热驱动  压阻效应  界面陷阱。   集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 于海涛 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  　生化传感器  　悬臂梁  　电热驱动  　压阻检测  　快速重复检测  　超枝化敏感膜  　多壁碳纳米管　   基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 516-518 陈健; 陈德勇; 王军波 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/19 微机械电子系统  电热驱动谐振式微加速度传感器  三梁结构  交叉灵敏度  有限元模拟