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内容类型
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期刊论文 [4]
发表日期
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2017 [2]
2016 [2]
2012 [1]
2001 [1]
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学科主题
工程与技术科学基础学... [1]
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三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
邓钦元
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2018/05/24
三维微纳结构
无掩模光刻
非线性
白光干涉
空间调制度
基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2018, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 604001-604007
作者:
邓钦元
;
唐燕
;
周毅
;
杨勇
;
胡松
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收藏
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2019/08/23
测量
空间频域
白光干涉
2π模糊
相干信息
相位突变
双光束单脉冲三维成像装置离线对准系统研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所), 2017
作者:
邓明君
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2017/12/08
时空对准
双光束
白光干涉
双光束白光干涉系统的理论模拟与实验研究
期刊论文
OAI收割
核技术, 2017, 期号: 8, 页码: "21-27"
作者:
邓明君
;
王勇
;
薛超凡
;
邰仁忠
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2018/08/17
自由电子激光
双光束
白光干涉
基于扫描微透镜的近场光学超分辨率成像系统研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2016
作者:
王飞飞
收藏
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浏览/下载:253/0
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提交时间:2016/12/15
微透镜
超分辨显微镜
近场白光干涉
大范围成像
微纳透镜阵列
基于光学相干和微弱信号检测的干涉探测技术
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2016, 页码: 127-133
作者:
董磊
;
王斌
;
刘欣悦
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2018/04/09
测量
相干光学
干涉探测
白光干涉
微弱信号检测
信噪比
X射线散射法测量超光滑表面方法研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院, 2012
杜韦陶
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2012/08/15
同步辐射光源
超光滑表面
白光干涉法
掠入射X射线散射法
表面功率谱密度
表面均方根粗糙度
光学相干层析成像技术的研究及应用
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2001
作者:
宋桂菊
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2016/11/28
Monte Carlo模拟方法
光学相干层析成像
白光干涉仪
波长扫描干涉仪
贴片散斑法及其应用
期刊论文
OAI收割
实验力学, 1987, 卷号: 2, 期号: 1, 页码: 21-26
作者:
韩金虎
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浏览/下载:842/53
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提交时间:2009/08/03
激光散斑
白光散斑
散斑干涉计量
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