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机构
上海光学精密机械研究... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [1]
2005 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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硅片表面球形粒子散射及微分散射截面的研究
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2006, 卷号: 30, 期号: 6, 页码: 561, 563
崔品静
;
程兆谷
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浏览/下载:858/167
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提交时间:2009/09/24
散射
光强空间分布
米氏理论
相差模型
微分散射截面
硅片表面缺陷检测理论研究与计算机仿真
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005
作者:
曹楷
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2016/11/28
缺陷检测
仿真
散射
米氏理论
杨氏模型
相差模型
双入射模型