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近代物理研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2001 [2]
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共2条,第1-2条
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离子辐照对单晶Si中预注入B原子扩散的影响
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2001, 卷号: 2001, 期号: 12, 页码: 1238-1244
刘昌龙,B.J.Sealy,A.Nejim,R.M.Gwilliam
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提交时间:2010/10/29
注入
瞬间增强扩散
二次离子质谱仪
单晶si
Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法
期刊论文
OAI收割
原子核物理评论, 2001, 卷号: 2001, 期号: 03, 页码: 164-168
刘昌龙
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提交时间:2010/10/29
注入掺杂
瞬间增强扩散
单晶si
高能重离子