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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2010 [1]
2008 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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新型多孔硅结构的制备、形成机理及应用研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
葛道晗
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提交时间:2012/03/06
硅的电化学
多孔硅
微电子机械系统(MEMS)
涌流模型
空间电荷区。
基介孔和宏孔电化学刻蚀基础理论及应用研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
包晓清
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2012/03/06
微电子机械系统(MEMS)
硅的电化学
介/宏孔
SCR(空间电荷区)模型
赫尔姆兹层