机构

• 上海应用物理研究所 [1]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2017 [1]
• 2009 [1]

学科主题

• 光学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2017, 期号: 7, 页码: "77-81" 作者:  李欣;  刘建朋;  陈烁;  张思超;  邓彪   |  收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2018/08/17 Hsq  深反应离子刻蚀  硅纳米柱  高宽比  硬x射线   硕士论文-硅纳米柱阵列结构的光学特性理论分析和工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2009 作者:  廖元勋 收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2015/10/12 氯化铯  硅纳米柱  反应离子刻蚀  时域有限差分法