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靶电流对磁控溅射制备TiB2薄膜结构及性能的影响
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2024, 卷号: 37, 期号: 5, 页码: 147-157
作者:
冷啸
;
李红轩
;
吉利
;
张定军
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提交时间:2024/12/25
磁控溅射
TiB2
靶电流
晶面结构
摩擦磨损
HiPIMS 金属/气体离子比的调控及其对TiN涂层性能的影响
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2024
作者:
曾明亮
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2024/06/03
高功率脉冲磁控溅射
TiN
等离子体特性
离子辐照
残余应力
氮含量对(BCSiAlCr)N_(x)薄膜结构和耐腐蚀性能的影响
期刊论文
OAI收割
真空与低温, 2023, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 28-35
作者:
闫巨擘
;
赖振国
;
张斌
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提交时间:2023/12/07
磁控溅射
耐腐蚀性能
硬度
(BCSiAlCr)Nx薄膜
力学性能
择优取向氮掺杂氧化铟薄膜的制备及其光电性能
期刊论文
OAI收割
硅酸盐学报, 2023, 卷号: 51, 期号: 01期, 页码: 145-151
作者:
孙辉
;
沈龙海
;
刘子童
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提交时间:2024/01/08
氮掺杂氧化铟
磁控溅射
择优取向
光电探测
脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
作者:
高海洋
;
张斌
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2023/12/08
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)
脉冲频率
TiN薄膜
微观组织
力学性能
金属氮化物涂层的高温摩擦学研究进展
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 48-63
作者:
赖振国
;
贾倩
;
张斌
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提交时间:2023/12/08
氮化物涂层
磨损率
多层氮化物
电弧离子镀
磁控溅射
摩擦因数
基底的晶向和氧化层厚度对坡莫合金薄膜的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 941-945
作者:
冯润东
;
张文伟
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提交时间:2022/03/10
各向异性磁电阻
NiFe薄膜
基底
磁控溅射
X射线衍射
磁控溅射制备各向异性磁电阻的工艺研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2021
作者:
冯润东
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提交时间:2021/06/18
各向异性磁阻
磁控溅射
传感器
Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2020, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 59-64
作者:
谢明玲
;
张广安
;
史鑫
;
谭稀
;
高晓平
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提交时间:2021/12/08
材料科学基础学科
MoS2薄膜
磁控溅射
抗氧化性
电学性能
Mn-Co-Ni-(Mg/Al)-O系热敏薄膜的磁控共溅射法制备及其电学性能研究
学位论文
OAI收割
中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
轩婷婷
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2020/11/19
磁控共溅射
热敏薄膜
溅射功率
阳离子分布
电学性质