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采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [4]
学位论文 [2]
发表日期
2016 [2]
2012 [1]
2010 [1]
2007 [1]
1995 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
材料科学与物理化学 [1]
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共6条,第1-6条
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离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:
张立超
;
贺健康
;
梅林
;
武潇野
;
时光
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收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2017/09/17
离子束溅射
光学薄膜
沉积速率
二维拟合
膜厚均匀性
离子束溅射沉积制备六方氮化硼二维原子晶体
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
王浩林
收藏
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2016/07/07
六方氮化硼
二维原子晶体
离子束溅射沉积
衬底
大尺寸晶畴
单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2012, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 134-140
作者:
艾万君
;
熊胜明
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2016/11/21
电子束蒸发
离子束辅助沉积
离子束反应溅射
HfO2薄膜
薄膜特性
消偏振薄膜的设计和制备
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
王晴云
收藏
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2016/11/28
薄膜
消偏振
倾斜沉积
双折射
离子束溅射
SR-FEL 宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2007, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 405-408
高怀林
;
王乃彦
;
王东蕾
;
王永
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2010/05/19
储存环自由电子激光
腔镜光学膜系
电子束蒸发沉积
离子束溅射沉积
离子束增强沉积和磁控溅射硫化钼薄膜的摩擦磨损性能研究
期刊论文
OAI收割
摩擦学学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 4, 页码: 341-347
作者:
杨生荣
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2015/07/09
离子束增强沉积
磁控溅射
MoS2薄膜
减摩性
耐磨性
ion beam enhanced deposition
magnetron sputtering
MoS2 thin film
friction reduction
wear-resistance