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• 电子学研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2005 [1]
• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 微机械面型微加热器的热学分析 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2005, 期号: 04 吴雷; 李铁; 王立春; 王翊; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/06 离子束辅助沉积  铪膜  择优取向   离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向 期刊论文  OAI收割 中国有色金属学报, 2003, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1414-1419 江炳尧，任琮欣，郑志宏，柳襄怀，樊会明，姚刘聪，李玉涛，苏小保 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/09/02 离子束辅助沉积 铪膜 择优取向