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机构
长春光学精密机械与物... [4]
微电子研究所 [1]
上海技术物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [5]
学位论文 [1]
发表日期
2020 [1]
2015 [2]
2012 [1]
2007 [1]
2005 [1]
学科主题
红外系统与元部件 [1]
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共6条,第1-6条
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无遮拦离轴天文望远镜偏振像差分析及其对光学椭率的影响
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 08, 页码: 55-64
作者:
罗敬
;
何煦
;
范阔
;
张晓辉
;
董吉洪
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2021/07/06
成像系统
无遮拦离轴天文望远镜
偏振像差
光学椭率
点扩展函数
弱引力透镜效应
空间激光主动探测离轴三反系统的猫眼效应
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1948-1956
作者:
陆君
;
王挺峰
;
李远洋
;
王锐
;
孙涛
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/07/06
激光主动探测
猫眼效应
离轴三反系统
回波特性
光线追迹
离子束抛光高陡度离轴非球面的去除函数修正
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 06, 页码: 1572-1579
作者:
唐瓦
;
邓伟杰
;
李锐钢
;
郑立功
;
张学军
收藏
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2016/07/06
光学制造
离轴非球面
离子束抛光
溅射效应
去除函数
极紫外光刻离轴照明技术研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:
金春水
;
王丽萍
收藏
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
极紫外光刻
分辨率增强
离轴照明阴影效应
光刻胶
干涉式大气垂直探测仪光谱定标方案研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2007
作者:
刘鹏
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2012/08/14
傅立叶变换光谱仪
干涉仪
光谱定标
仪器线形函数
有限光程差
有限视场
离轴效应
193nm光刻散射条技术研究
期刊论文
OAI收割
微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 4,360-363
作者:
康晓辉
;
张立辉
;
王德强
;
范东升
;
谢常青
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2010/05/26
光刻 亚分辨率辅助图形 散射条 离轴照明 分辨率增强 光学临近效应校正