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	BioMEMS和人体植入式生物微系统期刊论文 OAI收割微纳电子技术, 2005, 期号: 08 刘菁; 赵建龙; 金庆辉收藏 \| 浏览/下载：43/0 \| 提交时间：2012/01/06 NEMS 压阻敏感器纳机电探针数据存储
	硅基集成纳机电探针技术的研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2004 杨尊先收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2012/03/06 纳电子机械系统纳机电探针高密度存储压阻敏感器电热针尖
	微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能期刊论文 OAI收割功能材料与器件学报, 2003, 期号: 02 宗登刚; 王钻开; 陆德仁; 王聪和; 陈刚收藏 \| 浏览/下载：72/0 \| 提交时间：2012/01/06 集成化纳米探针硅纳机电系统
	基于DSP的DPSK差分解调的实现及研究期刊论文 OAI收割移动通信, 2003, 期号: S2 方浩华; 王跃林; 徐会勤; 金仲和收藏 \| 浏览/下载：38/0 \| 提交时间：2012/01/06 悬臂梁-针尖探针纳机电系统技术压阻敏感电热纳米针尖数据存储技术