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• 上海微系统与信息技术... [2]
• 微电子研究所 [1]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]
• 2006 [2]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 应用于纳米制造的新型电子束抗蚀剂Calixarene的工艺研究 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2009, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 4，275-278 作者:  谢常青;  安南;  刘明;  陈宝钦;  任黎明   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2010/06/01 纳米制造  电子束光刻  工艺技术  电子束抗蚀剂  Calixarene   基于MEMS 技术制作的硅纳米线及其性质研究 学位论文  OAI收割 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 刘文平 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2012/03/06 纳米制造技术  硅纳米线  微电子机械系统  表面态   基于MEMS技术制作的硅纳米线及其性质研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 刘文平   收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 纳米制造技术  硅纳米线  微电子机械系统  表面态